نیمه هادی ویفرهای سیلیکونی تک کریستالی

مشخصات

ارزش

قطر

100 میلی متر، 125 میلی متر، 150 میلی متر، 200 میلی متر، 300 میلی متر

ضخامت

100μm، 200μm، 300μm، 400μm، 500μm، 600μm، 700μm، 725μm، 775μm، 825μm، 875μm، 925μm، 975μm، 1mm

گرایش

<100>, <110>, <111>

نوع دوپانت

بور (نوع p)، فسفر (نوع n)

مقاومت

0.001-100 اهم-سانتی متر

پایان سطح

جلا داده شده تا زبری چند آنگستروم

TTV (تغییر ضخامت کل)

<5μm

تعظیم

<40μm

پیچ و تاب

<40μm

شمارش ذرات

<30@>0.3μm

منطقه حذف لبه

1-2 میلی متر

عنصر

سمبل

درصد وزنی

سیلیکون

سی

99.9999999 درصد

کربن

C

< 0.01%

اکسیژن

O

10-20 ppm

آلومینیوم

ال

0.1 - 1 ppm

اهن

Fe

0.1 - 1 ppm

بور

B

0.1 - 10 ppm

فسفر

P

0.1 - 10 ppm